軸対称表面波励起マイクロ波プラズマを用いた細管内壁表面処理法の開発 : プラズマ及び電磁界分布の数値解析法の確立及び応用

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概要

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• 電気加工学会の論文
• 2003-07-14

著者

• 上坂 裕之

  名古屋工業大学大学院工学研究科つくり領域

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