自己再結合スパッタにおけるフッ化物成膜

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概要

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• 応用物理学会分科会日本光学会の論文
• 2003-03-10

著者

• 古田 正寛

  株式会社ニコン オプトメカトロニクス開発部 薄膜グループ

• 古田 正寛

  株式会社ニコン精機カンパニーレンズ技術開発部薄膜第一技術開発課

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