位相シフト干渉縞同時撮像による形状計測(第2報) : バイアス、振幅および位相シフト量の面素毎の補正
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概要
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- 2000-09-01
著者
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川崎 和彦
ミツトヨつくば研
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川崎 和彦
株式会社ミツトヨ つくば研究所
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上島 泰
株式会社ミツトヨ つくば研究所
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光谷 直樹
株式会社ミツトヨ つくば研究所
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配野 宏
株式会社ミツトヨ つくば研究所
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光谷 直樹
ミツトヨつくば研
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配野 宏
ミツトヨつくば研