シリコン酸化膜/窒化膜の積層制御技術
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 1997-02-10
著者
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田中 幸基
新日本製鐵株式会社先端技術研究所
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田中 幸基
新日本製鐵(株)技術開発本部先端技術研究所解析科学研究部
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滝山 真功
新日本製鐵(株)lsi事業部半導体デバイス研究開発センター
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拓殖 敦子
新日本製鐵(株)技術開発本部先端技術研究所解析科学研究部
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田中 幸基
新日本製鐵(株)
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