窒素イオン注入によるシリコン酸化膜窒化の活性化エネルギー
スポンサーリンク
概要
著者
-
佐山 弘和
Ulsi Development Center Mitsubishi Electric Corporation
-
長田 芳裕
Kita-Itami Administration Center, Mitsubishi Electric Corporation
-
清水 悟
ULSI Development Center, Mitsubishi Electric Corporation
-
清水 悟
Ulsi Development Center Mitsubishi Electric Corporation