SiGe基板上ひずみシリコン結晶技術

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2000-11-10

著者

• 杉山 直治

  (株)東芝 研究開発センター LSI基盤技術ラボラトリー

• 杉山 直治

  (株)東芝・研究開発センター・lsi基盤技術ラボラトリー

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