2自由度系静電駆動型ねじり振動子 : 第6報UV-LIGAプロセスによる小型化の試み

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概要

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• 2002-03-01

著者

• 臼田 孝

  産総研

• Basrour S.

  Tima

• MAJJAD H.

  LMPO

• COUDEVYLLE J-R.

  LMPO

• DE LABACHELLERIE

  LMPO

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