各種ガス混入大気圧パルス変調Ar誘導熱プラズマの安定維持範囲と過度応答特性

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概要

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• 電気学会の論文
• 2002-05-01

著者

• 田中 康規

  金沢大学大学院

• 作田 忠裕

  金沢大学工学部電気情報工学科

• 作田 忠裕

  金沢大学工学部電気電子システム工学科

• 作田 忠裕

  金沢大学 工学部

• 田中 康規

  金沢大学

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