ガスモニター質量分析計用直視型ガス導入ポートの試作

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1994-05-20

著者

• 甲斐 潤二郎

  (株)東京カソード研究所大阪研究所

• 田間 政義

  (株)東京カソード研究所大阪研究所

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