超高密度 Indium-Tin-Oxide ターゲットのランニング試験

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1994-03-20

著者

• 田中 理子

  同和鉱業株式会社 中央研究所

• 横川 敏雄

  同和鉱業株式会社 中央研究所

• 江島 光一郎

  同和鉱業株式会社 中央研究所

• 天羽 隆一

  同和鉱業株式会社 中央研究所

• 吉澤 秀二

  同和鉱業株式会社 中央研究所

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