冷陰極逆マグネトロン真空計感度の磁場による影響

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1994-03-20

著者

• 土舘 裕幸

  三菱電機(株)

• 椋木 健

  (株)ソルテック

• 岸本 健

  (株)ソルテック

• 渡邊 牧夫

  (株)ソルテック

• 荒木 美次

  (株)ソルテック

• 飯田 利昭

  三菱電機(株)

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