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ポリイミド基板上にスパッタ成膜したW/C多層膜
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概要
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日本真空協会の論文
1993-03-20
著者
山下 廣順
宇宙科学研究所
宮崎 司
日東電工(株)
関 正治
日東電工(株)
辰巳 元茂
日東電工(株)
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