ポリイミド基板上にスパッタ成膜したW/C多層膜

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1993-03-20

著者

• 山下 廣順

  宇宙科学研究所

• 宮崎 司

  日東電工(株)

• 関 正治

  日東電工(株)

• 辰巳 元茂

  日東電工(株)

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