炭化チタン陰極を用いた真空アークイオン源によるチタン+炭素の同時イオン注入
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概要
著者
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杉山 賢司
新日本製鐵(株)技術開発本部
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杉山 賢司
新日本製鐵株式会社エレクトロニクス研究所
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佐々木 純
新日本製鐵株式会社エレクトロニクス研究所
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一古 修身
新日本製鐵株式会社エレクトロニクス研究所
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杉山 賢司
新日本製鐵 (株) エレクトロニクス研究所
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佐々木 純
新日本製鐵 (株) エレクトロニクス研究所
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