新素材・新物質薄膜作製装置に関する現状 : 酸化物薄膜作製装置と結晶制御技術を中心として

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1993-02-20

著者

• 深沢 博之

  日本真空技術株式会社超高真空事業部

• 鈴木 康正

  日本真空技術株式会社超高真空事業部

• 根岸 敏夫

  日本真空技術株式会社超高真空事業部

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