グラファイト/炭化ホウ素複合ターゲットを用いた反応性スパッタ法によるB-N-C薄膜の作製

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1992-04-20

著者

• 柴田 薫

  工業技術院九州工業技術試験所

• 柴田 薫

  九州工技研

• 柴田 薫

  工学技術院九州工業技術試験所

• 吉田 久良

  工学技術院九州工業技術試験所

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