各種PVD法による遷移金属2硼化物薄膜の作成

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1992-03-20

著者

• 尾崎 正則

  (株)ライムズ 第2グループ

• 鈴木 卓哉

  (株)ライムズ 第2グループ

• 真下 啓治

  (株)ライムズ 第2グループ

• 宮川 亞夫

  (株)ライムズ 第2グループ

• 村田 秀明

  (株)ライムズ 第2グループ

• 宮川 亞夫

  (株)ライムズ

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