High-output Micro-trochoid Pump Fabricated by a Surface Treatment Technique (特集 産業科学技術プロジェクト--マイクロマシン技術の成果)

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概要

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• 電気学会の論文
• 2002-02-01

著者

• Yoshimura Yasuhiro

  Hitachi Ltd

• HARADA Takeshi

  Hitachi, Ltd

• KOUNO Akiomi

  Hitachi, Ltd

• Kouno Akiomi

  Hitachi Ltd

• Harada T

  Hitachi Ltd

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