MEMS PROCESS SIMULATION AND DEVICE ANALYSIS FOR AN ELECTRO-STATICALLY ACTUATED MICRO-MIRROR

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概要

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• 2001-06-01

著者

• Yamada Tomonori

  Advanced Technolgies Co. Ltd.

• FINCH Nora

  Intellisense Corporation

• DUTTA Sanghamitra

  NASA, Goddard Space Flight Center

• KUHN Jonathan

  NASA, Goddard Space Flight Center

• MARCHETTI James

  Intellisense Corporation

• Kuhn Jonathan

  Nasa Goddard Space Flight Center

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