TEM画像処理FTM法による微小領域の結晶歪み分布及び多結晶材料の結晶方位分布の画像化技術

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2001-11-30

著者

• 井手 隆

  NEC評価技術開発本部

関連論文

• TEM画像処理FTM法による微小領域の結晶歪み分布及び多結晶材料の結晶方位分布の画像化技術
• Fourier Transform Mapping法によるLSI中の不良分析 (半導体デバイス特集) -- (基盤技術)

スポンサーリンク