高密度マイクロ波プラズマによるシリコンネットワーク構造の制御

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2001-06-20

著者

• 白井 肇

  埼玉大

• 吉野 浩一

  埼玉大工学部

• 佐久間 喜和

  埼玉大工学部

• 上山 寛之

  日本高周波(株)

• 白井 肇

  埼玉大工学部

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