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原子層の1/10単位で - SR-X線を利用して高精度で表面構造観察 -
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概要
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日本化学会の論文
1994-08-01
著者
大柳 宏之
通商産業省工業技術院 電子技術総合研究所 電子基礎部基礎物質研究室
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