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ポリシランLB膜の調製とその特性 - ポリシランの究極の薄膜をつくる -
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概要
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1993-10-01
著者
関 隆広
東京工業大学資源化学研究所光化学プロセス部門
関 隆広
通商産業省工業技術院物質工学工業技術研究所分子工学部 分子システム研究室
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