Vickers圧痕により誘起されたSi単結晶中の非晶質層の研究

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概要

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• 2000-05-01

著者

• Suganuma M.

  Aichi Pref. Research Center

• SAKA H.

  Dept. of Quantum Engg, Nagoya University

• Saka H.

  Dept. Of Quantum Engg Nagoya University

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