走査型プローブ顕微鏡を用いたナノメーターオーダの計測

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1999-12-10

著者

• 安武 正敏

  セイコーインスツルメンツ

関連論文

• 29p-ZB-2 AFMによる張合わせSOIウエハ欠陥解析(1)
• 単層カーボンナノチューブカンチレバー : 作製と応用
• 走査型プローブ顕微鏡を用いたナノメーターオーダの計測
• 原子間力顕微鏡
• 走査型プローブ顕微鏡

スポンサーリンク