ホローカソードCVDオスミウムコータの開発

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概要

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• 1999-05-01

著者

• 赤堀 宏

  真空デバイス

• 赤堀 宏

  (株)真空デバイス

• 吉田 寿治

  (株)真空デバイス

• 半田 松雄

  (株)真空デバイス

• 磯崎 廣明

  (株)真空デバイス

• 小塚 芳道

  国立神経研究所

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