サブミクロンを加工し埋めるプラズマプロセス技術!

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概要

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• 電気学会の論文
• 1997-01-20

著者

• 寒川 誠二

  日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所

• 寒川 誠二

  日本電気(株) マイクロエレクトロニクス研究所lsi基礎研究部研究専門課

• 寒川 誠二

  日本電気(株)

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