精密位置決め装置に用いる高出力リニアモータの冷却ジャケット化と位置決め精度の向上

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1999-09-01

著者

• 江本 圭司

  キヤノン(株)

• 鎌田 重人

  キヤノン(株)

関連論文

• 精密位置決め装置に用いる高出力リニアモータの冷却ジャケット化と位置決め精度の向上
• 精密位置決め装置に用いる高出力リニアモータの冷却に関する研究 -冷却ジャケット化-

スポンサーリンク