Pressure and Electrode Distance Effects on Ion Energy Distributions in RF Discharges

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概要

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• Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
• 1997-07-01

著者

• Zeuner Michael

  Institut Fur Oberflachenmodifizierung E.v.

• Neumann Horst

  Institut Fur Oberflachenmodifizierung E.v.

• MEICHSNER Jurgen

  Technische Universitat Chemnitz, Institut fur Physik

• Meichsner Jurgen

  Technische Universitat Chemnitz Institut Fur Physik

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