Mass Spectrometric Detection of F Atoms and CF_x Radicals in CF_4 Plasmas
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概要
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- Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
- 1997-07-01
著者
-
Sadeghi Nader
Laboratoire De Spectrometrie Physique (cnrs:umr 5588) Universite Joseph Fourier-grenoble I
-
SCHWARZENBACH Walter
Laboratoire de Spectrometrie Physique, (CNRS
-
TSEREPI Angeleki
Laboratoire de Spectrometrie Physique, (CNRS
-
DEROUARD Jacques
Laboratoire de Spectrometrie Physique, (CNRS
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Tserepi Angeleki
Laboratoire De Spectrometrie Physique (cnrs:umr 5588) Universite Joseph Fourier-grenoble I
-
Schwarzenbach Walter
Laboratoire De Spectrometrie Physique (cnrs:umr 5588) Universite Joseph Fourier-grenoble I
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Derouard Jacques
Laboratoire De Spectrometrie Physique (cnrs:umr 5588) Universite Joseph Fourier-grenoble I
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