Se分子線と水素ラジカルを用いたGaAsのエッチング

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 応用物理学会の論文

著者

• 紀川 健

  日立中研

• 高谷 信一部

  日立中研

関連論文

• Se分子線と水素ラジカルを用いたGaAsのエッチング

スポンサーリンク