The Surface Grinding Temperature in Grinding Silicon

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概要

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• 1998-09-01

著者

• Aibing Yu

  Tianjin University

• Jun Hu

  Tianjin University

• BIN Lin

  Tianjin University

• HASHIMOTO Hiroshi

  Kanagawa Institute of Technology

• IMAI Kenichiro

  Kanagawa Institute of Technology

• YANSHEN Xu

  Tianjin University

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