SiOx : H薄膜によるHDDスライダーの吸着力低減

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概要

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• 1996-09-01

著者

• 佐野 章信

  ミネベア(株)開発技術センター

• 浅川 寿昭

  ミネベア(株)開発技術センター

• 栗田 和幸

  ミネベア(株)開発技術センター

• 茨木 伸也

  ミネベア(株)開発技術センター

• 足立 重之

  ミネベア(株)開発技術センター

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