放射光励起Al選択CVDとその反応制御機構

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概要

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• 1995-02-20

著者

• 西山 岩男

  Nec マイクロエレクトロニクス研究所 Lsi基礎研究部

• 上杉 文彦

  NEC 材料部品分析評価センター 信頼性評価部

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