差動法を用いた水晶振動子による力センサ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 計測自動制御学会の論文
- 1997-12-31
著者
関連論文
- 蒸着薄膜サーミスタの感度波長特性
- 触覚の計測技術
- 水晶振動子式力センサを用いた能動触角とこれによる外界センシング
- 水晶振動子による滑りとその方向のセンシング
- 4対の水晶振動子を用いた接触力・接触位置センサとこれによる外界センシング
- 水晶振動子による3成分把持力把持位置センサ
- 差動法を用いた水晶振動子による力センサ
- 力センサとしての矩形ATカット水晶振動子
- 単一板ばね支点の変形--第2近似
- 単一板ばね支点の変形--実験(第一近似)
- 赤外線検出用薄膜サーミスタの感度波長特性
- フォトリソグラフィと微細レーザ加工による高速応答サーモパイルの作製
- CO2 Sensor using Quartz Crystal Microbalance Coated with Sensitive Membrane
- 感応膜を修飾したQCMによるCO_2濃度センサ