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超音波洗浄における異物除去メカニズム -共振気泡による摩擦作用-
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表面技術協会の論文
著者
菊池 廣
(株)日立製作所 生産技術研究所
阿座上 瑞美
(株)日立製作所 生産技術研究所
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