Characteristics of Molybdenum Thin-film Plate Oscillators Fabricated by Minimum Deformation Micromachining

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1997-03-31

著者

• Hisaki Tomoko

  Ntt

• Itao Kiyoshi

  Chuo University

• MIYAZAKI Kenji

  Chuo University

• YAMAUCHI Noriyoshi

  NTT

• TAKAHASHI Ryouichi

  Chuo University

関連論文

• Characteristics of Molybdenum Thin-film Plate Oscillators Fabricated by Minimum Deformation Micromachining

スポンサーリンク