高分解能レーザー分光法によるエッチング反応の研究 -フッ素と銅表面の反応により生成するCuFの振動回転並進エネルギー分布-

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概要

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• 1995-09-10

著者

• 菅原 孝一

  産業技術融合領域研究所

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