アモルファスシリコン薄膜トランジスタのオフ電流特性に及ぼすプラズマ処理の効果

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概要

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• 表面技術協会の論文
• 1999-03-01

著者

• 岡本 昌也

  シャープ

• 岡本 昌也

  シャープ(株)液晶開発本部液晶研究所第2開発部

• 鷲塚 諫

  シャープ(株)情報・プリント・通信事業統轄

• 藪田 哲史

  シャープ(株) TFT液晶事業本部

• 岡本 昌也

  シャープ(株) 液晶開発本部

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