Hydrogen Analysis on Materials Using High and Low Energy Ion Beam Scattering (〔日本真空協会〕関西支部企画 特集「プロセス雰囲気と表面制御」)

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1996-11-20

著者

• Umezawa Kenji

  Dept. Of Physics University Of Osaka Prefecture

• Nakanishi Shigemitsu

  Dept. Of Physics University Of Osaka Prefecture

• OURA Kenjiro

  Dept. of Electoronics Engineering,faculty of Engineering,Osaka University

• Oura Kenjiro

  Dept. Of Electoronics Engineering Faculty Of Engineering Osaka University

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