特許からみたラジエーションキュアリングの応用

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概要

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• ラジエーションキュアリングのプロセス的応用技術の研究開発動向を特許情報をもとに紹介する.オプトエレクトロニクスデバイス,メカトロニクス部品,マイクロマシン等でのフォトレジストを用いたマイクロリソグラフ技術の利用例や,ラドキュア系コート剤の新しい応用例,光造形技術の動向等を紹介する.

• 社団法人 高分子学会の論文
• 1996-11-01

著者

• 伏見 隆夫

  通産省特許庁

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