Optical and Structural Properties of Tantalum Pentoxide Thin Films by Ion Assisted Deposition Method with Radio Frequency Ion Source (光学薄膜特集号)

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概要

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• レ-ザ-学会の論文
• 1996-02-05

著者

• Tang Qi

  Kobe Design University

• OGURA Sigetaro

  Kobe Design University

• KIKUCHI Kazuo

  Shincron Co., Ltd.

• HIGASHI Nobuyuki

  Oyokoden Lab Co., Ltd.

• Higashi N

  Doshisya Univ. Kyoto

• Kikuchi Kazuo

  Shincron Co. Ltd.

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