HCD-ARE法によるCrN_x膜の作製

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概要

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• 1995-08-01

著者

• 小島 仁

  東北真空冶金(株)

• 上田 成行

  東北真空冶金(株)

• 小笠原 一秀

  東北真空冶金(株)

• 佐藤 武満

  東北真空冶金(株)

• 米田 芳之

  東北真空冶金(株)

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