Ta_2N薄膜抵抗特性に及ぼす基板表面粗さの影響

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1995-03-20

著者

• 長谷川 正幸

  村田製作所

• 戸井 孝則

  (株)村田製作所

• 長谷川 正幸

  (株)村田製作所

• 吉野 幸夫

  (株)村田製作所

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