ポリイミドのプラズマ処理速度に与える温度の影響

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文
• 1995-01-20

著者

• 鬼頭 諒

  日立製作所生産技術研究所

• 竹元 一成

  日立製作所生産技術研究所

関連論文

• ポリイミドのプラズマ処理速度に与える温度の影響

スポンサーリンク