基板加熱して作製した窒化鉄RFスパッタ膜の構造と軟磁気特性
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概要
著者
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斎藤 英之
九州大学工学部材料工学科
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林 安徳
九州大学工学部
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大貝 猛
九州大学工学部材料工学科
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下野 隆一郎
九州大学工学部材料工学科
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林 安徳
九州大学大学院工学研究院物質科学工学科
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林 安徳
九州大学大学院工学研究科材料物性工学専攻
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林 安徳
九州大学教授 ; 工学部材料工学科
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