プリント配線板用レジストと微細加工

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概要

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• フォトレジスト材料は半導体をはじめさまざまな微細加工に使用され,めざましい発展を遂げている.プリント基板作製においても,停まることのない回路のファイン化に対応するため,レジストに対する要求もますます高まり,研究開発が活発に行われている.本稿ではプリント基板作製用フォトレジスト材料の現状を解説するとともに将来の展望を行う.

• 社団法人 高分子学会の論文
• 1995-04-01

著者

• 大多和 茂

  東京応化工業(株)

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