超微粒子による新しい膜形成法 -ガスデポジション法-
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概要
著者
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小田 正明
(株)アルバック 千葉超材料研究所
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林 主税
日本真空
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渕田 英嗣
真空冶金株式会社ufp部課長
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小田 正明
真空冶金株式会社UFP部部長
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林 主税
真空冶金株式会社会長
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小田 正明
新技術開発事業団
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小田 正明
(株)アルバック千葉超材料研究所
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小田 正明
真空冶金(株)
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