選択AI-CVD法によるA1/A1直接接続ビア埋め込み技術の開発

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 1995-06-20

著者

• 近藤 英一

  川崎製鉄株式会社lsi事業部lsi技術開発センタ-主任研究員(掛長)

• 竹安 伸行

  川崎製鉄株式会社lsi事業部lsi技術開発センタ-研究員

• 太田 与洋

  東京エレクトロン

• 山本 浩

  川崎製鉄株式会社lsi事業部lsi技術開発センタ-主任研究員(掛長)

• 太田 与洋

  川崎製鉄株式会社LSI事業部LSI技術開発センタ-主任研究員(課長)

• 河野 有美子

  川崎製鉄株式会社LSI事業部LSI技術開発センタ-研究員

• 河野 有美子

  東京エレクトロン

関連論文

• ADMETA2001会議報告
• 選択AI-CVD法によるA1/A1直接接続ビア埋め込み技術の開発
• 選択Al-CVDによるAl/Al直接接続ビア形成 (LSI特集号)

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