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（株）村田製作所 | 論文

• LiTaO3基板上の漏洩弾性表面波の特性改善
• 基板内Cu溝電極を用いた広帯域SAW共振子とそのチューナブルフィルタへの応用
• 湿度ドリフト補償を備えたQCMアンモニアガスセンサの作製

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