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経済産業省産業技術総合研究所(旧工業技術院)大阪工業技術研究所 | 論文

• 直流マグネトロンスパッタリング法による多層膜フレネルゾーンプレートの作製 - スリットによる界面の平滑化効果 -
• サマリー・アブストラクト

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